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      Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計(jì)

      描述:Sekidenko OR4000T 半導(dǎo)體高溫計(jì)可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程,應(yīng)用于半導(dǎo)體硅片,外延,晶圓鍍膜等各種工藝的高精度測(cè)溫;OR4000T型具備多通道能力,支持高達(dá)2kHz的讀取速率,符合半導(dǎo)體應(yīng)用中極為嚴(yán)格的要求。

      其采用模塊化設(shè)計(jì),可快速量身定制。

      更新時(shí)間:2024-11-28
      訪問次數(shù):691
      廠商性質(zhì):代理商
      詳情介紹
      品牌Advanced Energy/優(yōu)儀價(jià)格區(qū)間面議
      應(yīng)用領(lǐng)域電子,交通,航天,汽車,電氣

      主要特性

      優(yōu)點(diǎn):

      • 提高可重復(fù)性并顯著減小誤差提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力

      • ·提高多個(gè)腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性


      特點(diǎn):

      • ·主動(dòng)輻射率檢測(cè)和補(bǔ)償

      • 溫度和輻射率讀取速率快

      • ·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性

      • ·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件


      技術(shù)參數(shù):

      概述:多通道,高性能,測(cè)量速度高達(dá)2kHz
      通道配置:1-4通道,帶可選/固定發(fā)射系數(shù),每個(gè)通道可單獨(dú)配置
      測(cè)溫范圍:50-3500°C
      實(shí)時(shí)發(fā)射系數(shù)范圍:
      測(cè)量波長(zhǎng):UV to 2300 nm
      讀取速率:高達(dá)2kHz
      測(cè)量精度:±1.5℃
      重復(fù)精度:±0.1℃℃,正常情況下
      分辨率:0.001℃C
      顯示:帶鍵盤輸入內(nèi)置,4x21LCD屏,
      數(shù)據(jù)I/O:RS-232,RS-422/486, and Ethernet
      模擬輸出:0-10V或4-21mA
      控制接口:外部觸發(fā)輸入,同步輸出,高低報(bào)警
      電源:交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
      環(huán)境參數(shù):5-40℃,非冷凝
      物理尺寸:8.6 cm (H)x 15.2 cm (W) x 21.8 cm (D)
      重量:2.0kg
      安裝:底部M3X0.75螺孔
      采樣響應(yīng)時(shí)間:2kHz采樣速率時(shí)<2ms




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