Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計

描述：Sekidenko OR4000E半導(dǎo)體薄膜高溫計能夠自動探測測量材料發(fā)射率，可用于RTP、HDP-CVD、MOCVDUV固化和其它各種半導(dǎo)體工藝過程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能，并且兼具實時輻射率補(bǔ)償?shù)膬?yōu)點。其采用塊化設(shè)計，可快速量身定制，滿足不同的的工藝應(yīng)用要求。

更新時間：2024-11-28

訪問次數(shù)：706

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詳情介紹

品牌	Advanced Energy/優(yōu)儀	價格區(qū)間	面議
應(yīng)用領(lǐng)域	電子,交通,汽車,電氣,綜合

主要特性

優(yōu)點:

提高可重復(fù)性并顯著減小誤差
提高生產(chǎn)率、產(chǎn)量和生產(chǎn)能力
提高多個腔室和基材的穩(wěn)定性和可靠性

特點:

·主動輻射率檢測和補(bǔ)償
溫度和輻射率讀取速率快
·模塊化的結(jié)構(gòu)具有高靈活性
·全套I/O和外部觸發(fā)器/同步組件

技術(shù)參數(shù)：

概述:	實時，雙通道，在測量過程中能實時測量材料發(fā)射系數(shù)并糾正，補(bǔ)償測量溫度，測量速度高達(dá)2kHz
通道配置:	1-2通道，透過脈沖發(fā)射器實時糾正發(fā)射系數(shù)，每個通道可單獨配置
測溫范圍:	50-3500°C
實時發(fā)射系數(shù)范圍:	0.03 至 1.0
測量波長:	UV to 2300 nm
讀取速率:	高達(dá)2kHz,在實時發(fā)射系數(shù)自糾正溫度測量模式下可達(dá)500Hz
測量精度:	±1.5℃
重復(fù)精度:	±0.1℃℃，正常情況下
分辨率:	0.001°C
顯示:	內(nèi)置，4x20LCD屏，帶鍵盤輸入
數(shù)據(jù)I/O:	RS-232,RS-422/485,and Etherne
模擬輸出:	t0-10V或4-20mA
控制接口:	外部觸發(fā)輸入，同步輸出，高低報警
電源:	交流:90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz直流:24V DC
環(huán)境參數(shù):	5-40℃，非冷凝
物理尺寸:	8.6 cm (H)x15.2 cm ()x 21.8 cm(D)
重量:	2.0kg
安裝:	底部M3 X0.75螺孔
采樣響應(yīng)時間:	2kHz采樣速率時<2ms

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